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借助全新的 Real3DUnitX,您现在可以精确测量组件的每一个表面——这得益于其五轴设计和极佳的可达性。配备可连接的旋转与倾斜单元,它提供了无与伦比的操作便捷性和自动化选项。使用 Real3DUnitX,FocusX 可实现 360° 测量,从而通过 CAD 文件进行全面的对比检查。这一升级提升了 FocusX 的多功能性,使其在切削工具、电子质量控制以及医疗技术等多个行业中不可或缺。
| 测量原理 | 非接触、光学、三维技术:高级焦距变化, 聚焦探测, 垂直聚焦探测, Real3D |
| 移动体积 (X x Y x Z) | 100 mm x 100 mm x 100 mm = 1 000 000 mm³ |
| 测量点数量 | 单次测量:X:2160,Y:2160,X x Y:460 万 :高达 5 亿 |
| 物镜名称 | 1900 WD30 | 800 WD37 | 800 WD17 | 400 WD19 | 150 WD11 | |
| 工作距离 | mm | 30 | 37 | 17.5 | 19 | 11 |
| 横向测量范围 (X,Y) | mm | 3.8 | 1.6 | 1.6 | 0.66 | 0.3 |
| 测量点距离 | µm | 1.77 | 0.72 | 0.72 | 0.36 | 0.14 |
| 测量噪点 | nm | 100 | 90 | 20 | 12 | 6 |
| 垂直分辨率 | nm | 290 | 260 | 60 | 35 | 20 |
| 镜头 | 1900 WD30 | 800 WD37 | 800 WD17 | 400 WD19 | 150 WD11 | |
| 最小可测量线粗糙度 (Ra) | µm | n.a. | n.a. | 0.18 | 0.13 | 0.06 |
| 最小可测量面粗糙度 (Sa) | µm | n.a. | n.a. | 0.09 | 0.07 | 0.04 |
| 最小可测量半径 | µm | 12 | 10 | 5 | 3 | 2 |