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计量级精度· 得益于良好的系统设计，可实现亚微米级精度测量 -
优异的结构设计· 测量机采用固定桥式的高刚性机械结构，使用花岗岩横梁、底座和立柱，以及精密SiC陶瓷Z轴的组合，保持机械结构的稳定性，抗外界干扰能力强
· 移动工作平台采用双燕尾式气浮导轨，确保系统测量和系统承载的同时提供良好的稳定性 -
极致的稳定性· SiC陶瓷Z轴具有热膨胀系数小、刚性强以及质量轻等优点，在保证测量系统稳定性的同时，亦提高了运动特性
· 各轴采用预载空气轴承及环抱式布局，具有高刚性、无接触、低摩擦以及低磨损的特点，有效保证机器的使用寿命，减少测量不确定性的发生次数
· 采用零膨胀系数光栅尺，分辨率高达到纳米级别，且不受外界温度影响，保证机器的高精度和稳定性 -
安全性· Z轴采用柔性平衡气缸，确保Z轴运动的可靠性
· Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全 -
自主研发，具有更好的适配性· 革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控
· Vispec Cube 自研软件，获得德国PTB最高等级 Class1（0.1微米、0.1角秒） 认证
· HSP固定扫描测头
· TR50旋转测座
