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优异的结构设计· CAE辅助设计分析，减少结构设计的偏差，提高结构的稳定性，保证精度的长期稳定
· 单边直驱移动桥结构，移动质量更轻，驱动更接近移动质心，有效提高运动性能和精度稳定性 -
极致的稳定性· 关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料，移动桥在质量更轻的同时，具备更高刚性与更低温度线膨胀性能
· 提高了精度与长期可靠性
· 高刚性高性能气浮导向，无摩擦无磨损，三轴均采用四面环抱式设计，具备气浮压力监测功能，有效确保稳定性
· 三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺，对温度变化不敏感，有效提高整机的精度 -
安全性· Z轴采用柔性平衡气缸，确保Z轴运动的可靠性
· Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全 -
自主研发，具有更好的适配性· 革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控
· Vispec Cube 自研软件，获得德国PTB最高等级 Class1（0.1微米、0.1角秒） 认证
· HSP固定扫描测头
· TR50旋转测座
