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经典稳定的结构设计· CAE辅助设计分析，减少结构设计的偏差，提高结构的稳定性，保证精度的长期稳定
· 经典的移动桥式设计，结构简单、紧凑、开敞性好、运动速度快，提供高效率、高精度的测量 -
高稳定性· 三轴均采用花岗岩材质，确保膨胀系数的一致性
· 采用独特的矩形横梁结构，增加结构的刚性，保证机器快速、平稳、精确
· 高刚性高性能气浮导向，无摩擦无磨损，三轴均采用四面环抱式设计，有效确保稳定性 -
高精度· 三轴采用高分辨率光栅尺，保证了良好的精度 -
安全性· Z轴采用平衡气缸，既保证Z轴上下移动的一致性，又可在紧急情况下确保探测系统的安全 -
自主研发，具有更好的适配性· TCC自研电控 · Vispec Cube 自研软件，获得德国PTB最高等级 Class1（0.1微米、0.1角秒） 认证
· HSP固定扫描测头
· TR50旋转测座
