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创新的机械设计蔡司XENOS以久经考验的蔡司CenterMax为基础，采用了全新的机械设计，令人印象深刻。不同于标准的桥式设计，Y导轨位于侧壁顶部，将所有移动轴与夹紧区域隔开。由于只有横梁在Y轴方向移动，因此移动质量较小，始终保持恒定，这是与移动工作台相比的真正优势。重量的减轻和质量的不断移动使驱动装置在加速和高速方面实现了出色协调。
此外，新型空气轴承的连接刚度更高，增强了稳定性，从而提高了精度。 -
改进的电子设计通过改进去耦和采用分散模块的新电子概念，所有三坐标测量机上移动电缆对精度的影响已明显降低。
全新的计算机辅助精度（CAA）验收方法和额外的CAA改进在实现高精度方面发挥着越来越重要的作用。 -
增强型蔡司VAST gold蔡司XENOS标配蔡司VAST gold基准测头。在蔡司XENOS的开发过程中，蔡司的这款功能强大的传感器得到了进一步优化，以获得更高的精度和可重复性。
蔡司XENOS上与轴套更坚固的连接也是全新设计。蔡司VAST gold传感器专为长度达到800 mm的测针和重量达500克的测针（包括非对称测针配置）而设计。
